VIPBOOK.SU
ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА






Добро пожаловать на сайт электронной библиотеки!
Здесь можно найти произведения русских и зарубежных авторов.
Скачать множество книг и журналов различных жанров и направлений.
Большой выбор художественной, бизнес, учебной и технической литературы.
Все представленные здесь книги и журналы имеют подробное описание и обложку.
Наша библиотека регулярно пополняется только новыми и интересными материалами!

«Подробнее о сайте»            «Правила сайта»            «Написать нам»            «Статьи»

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники

Наука и познание >> Химия





Разместил: na5ballov

8-06-2016, 17:05

Просмотров: 258





Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники


В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических пленок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений, а именно, комплексных соединений металлов и кремнийорганических соединений, синтезируемых в ИНХ СО РАН и ИрИХ СО РАН. Рассматриваются результаты исследования физико-химических свойств исходных соединений. Изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании MO CVD процессов. Получены и исследованы наиболее важные для современной электроники и наноэлектроники материалы: металлические пленки (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрические пленки с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Изучены химический, фазовый состав и структура простых и сложных оксидов на основе HfO2 (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики).










Похожие публикации

Мышьяк Мышьяк
Монография обобщает многочисленные литературные данные и результаты собственных исследований авторов, содержит исчерпывающие сведения о практической минералогии мышьяка, свойствах и термодинамических характеристиках его неорганических и органических

Структура и разрушение материалов из порошков тугоплавких соединений Структура и разрушение материалов из порошков тугоплавких соединений
В книге обобщены проведенные авторами исследования трещиностойкости материалов из некоторых видов тугоплавких соединений в зависимости от структуры, формируемой методами порошковой металлургии.

Структурная неорганическая химия Структурная неорганическая химия
Предлагаемый российскому читателю перевод уже второго издания монографии посвящен современному детальному анализу фундаментальных и прикладных проблем структурной неорганической химии и кристаллохимии. На основе традиционных концепций и современных

Магниды Магниды
Монография посвящена описанию неорганических соединений магния. Анализируется металлохимическое поведение магния, дается систематизация двойных химических соединений магния - магнидов - с учетом роли образования стабильных электронных конфигураций в

Гликина Ф. Б., Ключников Н. Г. - Химия комплексных соединений Гликина Ф. Б., Ключников Н. Г. - Химия комплексных соединений
В книге рассматриваются основные положения теории строения комплексных соединений, а также их изомерия. При этом раскрывается зависимость свойств соединений от взаимного расположения атомов и атомных групп в молекулах, дана наиболее рациональная

Электронное строение и свойства координационных соединений Электронное строение и свойства координационных соединений
Третье издание (2-е изд. вышло в 1976 г.) переработано с учетом новых данных по спектроскопии, кристаллохимии и катализу в химии координационных соединений. Изложены современные теории и методы исследования электронного строения и свойств

Высокотемпературная металлография сварных соединений Высокотемпературная металлография сварных соединений
В монографии показаны возможности использования метода высокотемпературной вакуумной металлографии в сочетании с регистрацией электросопротивления, прочностных характеристик и дилатометрии при исследовании структурных и фазовых превращений в сварных

Химический состав нефтей Западной Сибири Химический состав нефтей Западной Сибири
В монографии изложены результаты исследования химического состава углеводородных и гетероатомных компонентов нефтей Западной Сибири с применением современных средств физического и физико-химического анализа, включающих инструментальные методы, такие

Кибернетические модели в материаловедении Кибернетические модели в материаловедении
В книге обобщены и представлены новые теоретические и экспериментальные результаты исследований тугоплавких соединений методом компьютерного моделирования их основных физико-химических свойств и области существования. Изложен единый

ЭПР и ЯМР в химии координационных соединений ЭПР и ЯМР в химии координационных соединений
В монографии впервые собран материал по применению ЭПР и ЯМР в координационной химии. Изложены общие сведения по магнитному резонансу, теории ЭПР и ЯМР, кратко освещены принципы аппаратуры. Даются обзор применения методов ЭПР и ЯМР для исследования






Отзывы и Комментарии





Добавление комментария

Ваше Имя:
Ваш E-Mail:(необязательно)
  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent

Книги